Thi Hong, P., 		Huu Tung, D., 		Hai Anh, N., 		Tuan Linh, D., 		Thi Thu Thao, N., 		Thuy Hien, D., 		Minh Hieu, N., 		Minh Hue, N., 		Tran Thuat, N., 		Viet Tuyen, N., & 		Quoc Hung, N.
2021 Mar 12.  Fabricating Ultra-thin Silicon Nitride Membranes  Suspended on Silicon Wafer. VNU Journal of Science: Mathematics - Physics. [Online] 37:1